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晶圓接觸角測量?jì)x是怎么工作的?

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  晶圓接觸角測量?jì)x是為晶圓表面加工質(zhì)量檢測而設計的光學(xué)接觸角測試儀,提供晶圓表面接觸角和表面能分析,以評估附著(zhù)力、清潔度和涂層。
  晶圓接觸角測量?jì)x采用CCD數字攝像機,配倍高分辨率變焦式顯微鏡和高亮度LED背景光源系統,搭配三維樣品臺,可進(jìn)行工作臺上下、前后等方向移動(dòng)。實(shí)現微量進(jìn)樣及上下、左右精密移動(dòng)。同時(shí)還設計了伸縮桿結構工作臺,能適應在不同用戶(hù)材料厚度加大的場(chǎng)合。儀器框架可以根據式樣的大小適量調節,擴大了儀器的使用范圍。軟件搭配修正功能,測試多次后的結果可以同時(shí)保存在同一報告下,能讓用戶(hù)更好的對材料數據進(jìn)行管控。
  晶圓接觸角測量?jì)x用于測量液體對固體的浸潤性,通過(guò)測量液體對固體的接觸角,計算固體的表面自由能及液體的表面張力等指標,該儀器可自動(dòng)測值和人工修整相結合,按測試→自動(dòng)拍照→查找敏感點(diǎn)→計算接觸角值→顯示計算結果,整個(gè)過(guò)程無(wú)須人工干預,以降低人為因素影響。可廣泛用于測試各種液體對各種固體材料的接觸角,即通過(guò)測量液體與固體間所形成接觸角的大小,判斷液體對固體的浸潤性;也可測量和計算表面/界面張力、CMC、液滴形狀尺寸、表面自由能等。
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